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    對于提升生產效率及面板顯示品質上,可做出貢獻的多灰階光掩膜板

    由于使用較一般還少的片數的光掩膜板,便能夠將圖形轉印于基板上,可縮短面板制程的多灰階光掩膜板將可實現面板生產效率的提升。此外,因為能夠表現出半色調,故可以提高顯示器面板的顯示品質。
    現在雖然已運用在大型液晶面板上,但SK-Electronics集團今后仍會持續依據顧客的需求,將多灰階光掩膜板的技術活用于其他的顯示器或電子元件等商品上。 

    何謂多灰階光掩膜板?

    多灰階光掩膜板,可分為Gray-tone mask和Half tone mask2種。 Gray-tone mask是制作出曝光機解析度以下的微縫,再藉由此微縫部位遮住一部份的光源,以達成半曝光的效果。另一方面,Half tone mask是利用「半透過」的膜,來進行半曝光。因為以上兩種方式皆是在1次的曝光過程后即可呈現出「曝光部分」「半曝光部分」及「未曝光部分」的3種的曝光層次,故在顯影后能夠形成2種厚度的光刻膠(感光劑)。藉由利用這樣的光刻膠厚度差異、便可以較一般少的片數下將圖形轉寫至面板基板上,并達成面板生產效率的提升。

    Gray-tone mask 

    Gray-tone mask 系制作出曝光機解析度以下的微縫,再藉由此微縫部位遮住一部份的光源,以達成半曝光效果。


     

    Half-tone mask 

    Half tone mask是利用「半透過」的膜,進行半曝光。


     

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