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    DC〈Distortion Control〉光罩應用

    當理想格子光罩放在曝光機上進行曝光生產時,因曝光機光學及機臺特性會使玻璃基板圖案有非理想格子形狀結果產生,從而影響到與其它圖層之重合精度,DC光罩即是根據各曝光機之曝光特徵形狀及針對Array基板與CF基板的形狀誤差,進行反向補償製作,使曝光結果合乎理想格子,提升重合精度。


     

     

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