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    對於提昇生產效率及面板顯示品質上,可做出貢獻之多灰階光罩

    由於使用較一般還少的片數之光罩,便能夠將圖形轉印於基板上,可縮短面板製程的多灰階光罩將可實現面板生產效率之提昇。此外,因為能夠表現出半色調,故可以提高顯示器面板之顯示品質。現在雖然已運用在大型液晶面板上,但SKE集團今後仍會持續依據顧客的需求,將多灰階光罩的技術活用於其他的顯示器或電子元件等製品上。

    何謂多灰階光罩?

    多灰階光罩,可分為Gray-tone mask和Half tone mask2種。Gray-tone mask是製作出曝光機解析度以下的微縫,再藉由此微縫部位遮住一部份的光源,以達成半曝光的效果。另一方面,Half-tone mask是利用「半透過」的膜,來進行半曝光。因為以上兩種方式皆是在1次的曝光過程後即可呈現出「曝光部分」「半曝光部分」及「未曝光部分」之3種的曝光層次,故在顯影後能夠形成2種厚度的光阻(感光劑。藉由利用這樣的光阻厚度差異、便可以較一般少的片數下將圖形轉寫至面板基板上,並達成面板生產効率的提昇。

    Gray-tone mask

    Gray-tone mask 係製作出曝光機解析度以下的微縫,再藉由此微縫部位遮住一部份的光源,以達成半曝光效果。


    Half-tone mask

    Half-tone mask是利用「半透過」的膜,進行半曝光。


     

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