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    月月娱乐



    光罩上的Pellicle,因客戶不當使用導致破損時,頂正科技可提供拆除破損Pellicle與換上新品的服務

    交期
    1日~2日(依據Size別/不包含運送時間)
    ※      可依照客戶需求進行對應

    before
    after

     

    何謂Pellicle?
    由於Projection曝光機上的異物會導致Patterning成形不良、Pellicle可以說是為了保護光罩的防塵保護膜。

     
    • 因光罩Pattern面與Pellicle膜面和Lens之間的距離不同,Pellicle上的異物圖像將變得模糊,不會成像於基板上。
    • 因此,若Pellicle上的異物並非特別大,則可忽視

     

     

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