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    在TFT-LCD的製造上,通常需要成套多片數的光罩。
    在精度的要求方面,我們已經達到非常精密的次微米(0.1微米。1/10000毫米)。
    在製作光罩時,不單只是精密地製作1片光罩而已,而是整套光罩的組合都需要達到相同要求精度的水準。

    1mm

    =1/10 cm

    =1/1000 m

    =1,000 um

    =1,000,000 nm

     

     

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